电子束蒸发系统

     在认可了膜厚测控系统的精度并且真空获得及测
控系统也能在整个镀膜过程中提供一个稳定的背景气
压环境以后，蒸发系统是否能在整个镀膜过程中提供
稳定的蒸发分布，这对于镀膜产品的光谱指标和成品
率就至关重要了。
     对于现代光学薄膜的镀膜生产，电子枪不但要提
供一个蒸发功率，更重要的是提供一个稳定的蒸发分
布。
     三束公司 SEL 系列电子枪是目前国内坩埚盘最大
的电子枪，坩埚盘上设置圆形和弧形两种坩埚槽。弧
形坩埚槽容量大，通常用于SiO2材料的蒸发，蒸发时
坩埚盘往复移动，膜料表面在整个镀膜过程中保持平
坦，从而保证蒸发分布稳定。
     三束公司电子枪万能波形扫描系统为电子束位置
扫描提供纵横两个方向的驱动输出，波形可任意设定，
并且具有光斑形状修正功能，可在希望的范围内使膜
料得到均匀的蒸发，确保膜料表面平整。
     SEL 系列电子束蒸发系统的功率单元和坩埚驱动
单元可受控于石英晶体膜厚控制仪，能实现成膜速率
控制和镀膜过程的自动化。


	©版权所有：广东省肇庆三束镀膜技术发展有限公司
Copyright © 2003～2004 by 3 Beam Coating Technology Co.,Ltd., All rights reserved