<%@LANGUAGE="VBSCRIPT" CODEPAGE="936"%> SDEI系列精密光学镀膜机

     SDEI系列精密光学镀膜机专门为精密光学薄膜器件镀膜生产而设计，各系统单元和总体结构很好地满足了光学薄膜生产工艺的要求，适用于增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜，对于100层膜的超大型膜系也能做到很好的满足。
     ◆性能特点
     ●配置大坩埚电子枪，万能波形扫描系统，整个蒸发过程中膜料表面平坦，蒸发分布稳定。
     ●加配石英晶体膜层控制仪可实现成膜速率和镀膜过程的自动控制。
     ●配置大功率离子源，膜层质量好。
     ●总体结构设计合理，更符合工艺要求；
     ●局部细节设计富于人性化，方便操作者。
◆主要配置及技术指标
型号
SDEI-800
SDEI-1000
SDEI-1200
真空室内尺寸（mm)
 800宽×800深×930高 1000宽×1000深×1150高 1200宽×1200深×1350高
真空机组
 2X-70机械泵、KT-600扩散泵、
8L直联泵
 2X-70机械泵、ZJP-300罗茨泵、
KT-600扩散泵、8L直联泵
 2X-70机械泵、ZJP-300罗茨泵
KT-600扩散泵、2X-15机械泵
真空性能
 极限压强：6.7×10-4Pa
抽速：大气到5×10-3Pa≤15分钟		 极限压强：6.7×10-4Pa
抽速：大气到5×10-3Pa≤15分钟		 极限压强：6.7×10-4Pa
抽速：大气到5×10-3Pa≤15分钟
镀膜面积及夹具形式
 φ750mm球面，整体或四片 φ950mm球面，整体或四片  
电子束蒸发系统
 SEL-180W（C）（可配双枪） SEL-220W（C）（可配双枪） SEL-220W（C）（可配双枪）
电阻蒸发源
 两组 4KW 两组 6KW 两组 6KW
烘 烤
 6KW，350℃ 10KW，350℃ 13KW，350℃
离 子 源
 HOLL 离子源，800W HOLL 离子源，2KW HOLL 离子源，2KW
光学膜厚测控系统
 光源、光纤光路、光栅单色仪、
电源、膜厚测控仪		 光源、光纤光路、光栅单色仪、 光源、光纤光路、光栅单色仪、
电源、膜厚测控仪
选配内容
 1、石英晶体膜厚控制仪
2、低温冷凝装置
特殊定制
 根据客户要求进行设计和配置

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