<%@LANGUAGE="VBSCRIPT" CODEPAGE="936"%> 光学膜厚控制系统

  ◆构成及技术指标
1、调制光源头， 溴钨灯（12V50W），
1000Hz机械调制。
2、光路组件（出光口、光纤束）。
3、WDG30光栅单色仪（1200线或600线光栅）。
4、GDB423光电倍增管。
5、电源：12V灯源，400~1000V光电倍增管负高压源。
6、膜厚测控仪。
7、系统精度：±1/1000。

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