| 型
号 |
SDL-1000 |
SDL-1200 |
SDL-1350 |
| 真空室内尺寸（mm) |
1000宽×1000深×1150高 |
1200宽×1200深×1350高 |
1350宽×1350深×1450高 |
| 真空机组 |
2X-70机械泵、ZJP-300罗茨泵
KT-600扩散泵、2X-15机械泵 |
2X-70机械泵、ZJP-600罗茨泵
KT-800扩散泵、2X-15机械泵 |
2X-70机械泵、ZJP-600罗茨泵
KT-800扩散泵、2X-15机械泵 |
| 真空性能 |
极限压强：6.7×10-4Pa
抽速：大气到5×10-3Pa≤15分钟 |
极限压强：6.7×10-4Pa
抽速：大气到5×10-3Pa≤15分钟 |
极限压强：6.7×10-4a
抽速：大气到5×10-3Pa≤15分钟 |
| 夹 具 |
一个φ950mm球面夹具
或三个φ700mm行星夹具
|
一个φ1150mm球面夹具
或三个φ860mm行星夹具
|
一个φ1300mm球面夹具
或三个φ950mm行星夹具 |
| 电子束蒸发系统 |
SEL-180 |
SEL-220 |
SEL-220 |
离 子 源 |
HOLL 离子源，2KW |
HOLL 离子源，2KW |
HOLL 离子源，2KW |
| 光学膜厚测控系统 |
光源、光纤光路、光栅单色仪、电源、
膜厚测控仪 |
光源、光纤光路、光栅单色仪、电源、
膜厚测控仪 |
光源、光纤光路、光栅单色仪、电源、
膜厚测控仪 |
| 选配内容 |
1、石英晶体膜厚控制仪
2、低温冷凝装置 |
| 特殊定制 |
根据客户要求进行设计和配置 |
